Teknologi saput tipis adalah salah satu teknologi mikroelektronika yang digunakan untuk fabrikasi sensor. Cara kerja dari teknologi ini adalah pembuatan saput tipis berbahan logam, semikonduktor atau polimer yang kemudian digunakan untuk fabrikasi sensor. Proses fabrikasi sensor dengan teknologi saput tipis memanfaatkan saput tipis dengan ukuran mikrometer dengan metode penumbuhan secara penguapan, kimia maupun fisika. Metode penumbuhan yang umum dalam teknologi saput tipis antara lain epitaksi sinar molekul, pelapisan listrik, oksidasi, semprot pirolisis, pengendapan uap kimia, atau pembersitan. Kelebihan dari teknologi saput tipis adalah hanya membutuhkan biaya yang murah apabila diadakan produksi massal. Produksi sensor juga menjadi lebih cepat dan lebih sensitif karena jarak antarkomponen elektronik menjadi lebih dekat.
Sumber: Lihat artikel asli di Wikipedia
Teknologi saput tipis adalah salah satu teknologi mikroelektronika yang digunakan untuk fabrikasi sensor. Cara kerja dari teknologi ini adalah pembuatan saput tipis berbahan logam, semikonduktor atau polimer yang kemudian digunakan untuk fabrikasi sensor. Proses fabrikasi sensor dengan teknologi saput tipis memanfaatkan saput tipis dengan ukuran mikrometer dengan metode penumbuhan secara penguapan, kimia maupun fisika. Metode penumbuhan yang umum dalam teknologi saput tipis antara lain epitaksi sinar molekul, pelapisan listrik, oksidasi, semprot pirolisis, pengendapan uap kimia, atau pembersitan. Kelebihan dari teknologi saput tipis adalah hanya membutuhkan biaya yang murah apabila diadakan produksi massal. Produksi sensor juga menjadi lebih cepat dan lebih sensitif karena jarak antarkomponen elektronik menjadi lebih dekat.
